




氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
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氦質譜檢漏儀的應用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質量?;鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
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氦質譜檢漏儀光無源器件檢漏
光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標。光無源器件有光纖連接器、光開關、光衰減器、光纖耦合器、波分復用器、光調制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調制、濾波等功能。機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。本文主要介紹氦質譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應用。
光無源器件是不含光能源的光功能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標。光無源器件有光纖連接器、光開關、光衰減器、光纖耦合器、波分復用器、光調制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調制、濾波等功能。正壓法氦質譜檢漏采用正壓法檢漏時,需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實現被檢產品泄漏測量。本文主要介紹氦質譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應用。
無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分,也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標準是小于 5×10-8 mbar.l/s,因此需要進行泄漏檢測。氦質譜檢漏儀熱管檢漏熱管熱管(HeatPipe)是利用熱傳導原理與致冷介質的快速熱傳遞性質,透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導熱能力超過任何已知金屬的導熱能力。氦質譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應用于光無源器件的檢漏。
真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點
真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關閉V2
3)、關閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關斷V3、V5,打開V2對氦氣進行回收。
4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
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